檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "感測器".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="四氟化碳電漿"
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本論文主要探討奈米鑽石薄膜藉由不同後處理方式以及摻雜氮與未摻雜之特性分析,並使用EGFET架構應用於氫離子感測器,後續進行pH靈敏度量測以及探討靈敏度與奈米鑽石薄膜之間的關聯性。 實驗內容主要是…
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本研究利用半導體黃光微影技術,以石英為基材,製作壓電式IDA微金電極,IDA微金電極之線寬與長度分別為7.894 μm與2245.3 μm。本論文研究分成三部分:(1) 以二氧化矽保護層與四氟化碳 …